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2007年7月25日(水)
三井化学、三フッ化窒素生産能力を大幅増強

 三井化学は、半導体・液晶製造用特殊ガスの三フッ化窒素(NF3)の生産能力を大幅に増強する。今年8月に年400トンの新設備が稼働を開始するのに続き、08年10月をめどに700トン設備を追加増設する計画を固めた。これによって、合計能力は現状の年1300トンから2400トンと、80%以上拡大する。NF3の需要は従来の半導体、液晶向けに加えて太陽電池向けが伸びていることから、能力増強によって安定的な供給体制を構築する。
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