平成期に新規参入し、業界トップ集団の仲間入りを果たすまでに成長したのが信越化学工業のエキシマフォトレジスト事業だ。新たな柱となる製品の選定のために発足した「Z委員会」で有望分野として事業化を目指すことが決まり、1992年に研究に着手。セルロース誘導体やフェロモンなどで培った合成技術を生かし、デバイスメーカーなどから技術を学びながらフッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザー用フォトレジストの開発を進めていった。直江津工場(新潟県)に生産体制を整え、98年の上市にこぎ着けた。より微細な加工をするために露光光源がi線からエキシマレーザーへ移行する過渡期を捉えて存在感を高めていった。続きは本紙で

レジストを塗布した後パターンを形成した信越化学のウエハー

記事・取材テーマに対するご意見はこちら

PDF版のご案内

経営の最新記事もっと見る