クラボウは枚葉式半導体洗浄装置向けのソリューション「In-Situ精密計測・リアルタイム制御」の開発を加速させる。In-Situ(インサイチュ)はラテン語で“その場”という意味。ウエハーの洗浄に重要な薬液の温度、濃度、流速を処理中に計測し、高精度な表面処理を可能にする世界初の技術を模索している。温度については小型サーモカメラ(貸出機)を用い半導体装置メーカーで評価を行っており、2021年度中の本格事業化を目指す。濃度や流速も非接触計測器を開発中で、22年度にメーカーでの評価開始を予定。26年度にはソリューション全体で年間売上高50億円規模に育てる方針。続きは本紙で

温度については半導体装置メーカーでの評価を実施中。21年度中の本格事業化を目指す(In-Situ小型サーモカメラ)

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