セントラル硝子は半導体向け特殊ガス事業を再構築する。主力製品の1つとなっていたクリーニングガスの三フッ化窒素(NF3)について、価格低下などを受けて自社生産からの撤退を決めた。これと並行して新たなニーズが増えているエッチング用ガスの増産や新規用途ガスの投入を計画。宇部工場(山口県)に保有するNF3のラインは本年度中に停止させることから、その建屋に新設備を順次設置する。早期の立ち上げを図り、生産品目の最適化を目指す。

つづきは本紙をご覧ください

PDF版のご案内

先端材料・部材の最新記事もっと見る