ボールウェーブ、半導体・電池製造向け高精度微量水分計を開発

　東北大学発スタートアップ企業のボールウェーブは、高精度微量水分センサーを産業用途に展開する。新たにマイナス９０度Ｃまで動作する新製品の受注を開始。生産工程のリアルタイムモニタリングに利用可能な高速応答器で、精度も従来品の１０倍に高めた。来年初をめどに出荷を開始し、半導体製造用特殊ガスやリチウムイオン２次電池（ＬｉＢ）の生産工程に展開。ラインへの組み込みも念頭に置く。並行して新型コロナウイルス検知など新用途開拓も進め、独自のボールＳＡＷ（表面波）センサーの普及を目指す。続きは本紙で

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