協同インターナショナル(川崎市宮前区)は、半導体製造装置用チャッククリーニングウエハー(CCW)の日本市場開拓を進める。米ITSの製品で、通常の搬送プロセスに流すことでウエハーチャックのパーティクル(微細ごみ)を吸着・除去する。利用時にチャンバー開放の必要がなく、ダミーウエハー数も削減可能。直径300ミリメートルまでの各ウエハーサイズに対応する。採用が進む半導体製造ラインの歩留まり改善用途に加え、装置メーカー、化学・電子材料メーカーのプロセス評価などに訴求し、分野全体で普及を目指す。

直径300みりメートルまで対応。搬送プロセスに流すだけでパーティクルを除去する

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