【大阪】大阪有機化学工業は最先端のEUV(極紫外線)関連材料で攻勢をかける。同社は半導体材料事業において、主力のArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーに加えて、EUVレジスト用モノマーを手がけており、なかでもEUV材料は2021年に19年比で売上高が1・7倍に増加した。現在EUV材料の比率は全体の4%程度だが、24、25年には10%程度に高めていく。24年には世界市場でArFおよびEUVレジストの販売量が19年に比べて約2・1倍となる見込み。同社も市場拡大に合わせ半導体材料への設備投資を積極的に実施しており、24年には生産能力を19年比2・5倍に増強する。続きは本紙で

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