大陽日酸は東京農工大学と共同で、次世代パワー半導体として注目される窒化ガリウム(GaN)製の基板を低コストで製造する手法の開発に取り組んでいる。GaN結晶の成長速度と品質が高められる製法で、基板の製造コストを従来法の10分の1に下げることが目標だ。課題のコストが克服できれば、携帯電話基地局やデータセンターのサーバー機器などの電力変換用途でGaNパワー半導体の普及に弾みがつきそうだ。

開発中のGaN基板製造装置

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