宇部興産は半導体関連事業を拡大する。シリコンウエハーの洗浄などに使う高純度薬液はボトルネックによる増産を検討中で、半導体に配線用の溝や穴を掘る「ドライエッチング工程」で発生する排ガスを取り除く排ガス処理装置は半導体工場などの投資計画が相次ぐ中国市場の本格開拓に乗り出す。半導体や液晶パネル需要を取り込み、高収益の事業基盤構築を目指す。

つづきは本紙をご覧ください

PDF版のご案内

先端材料・部材の最新記事もっと見る