富士ゼロックスは、新たな無機化合物コーティング技術の開発を進める。PE-CVD(プラズマエンハンスド化学気相合成)にロールプロセスを導入。原料ガス供給とプラズマ領域を分離し、原料を基板に付着させた後にプラズマを照射し反応する。低温プラズマが利用でき、熱ダメージが少ない。PET(ポリエチレンテレフタレート)などの有機基材に均一膜厚で成膜できる。機能性フィルムやフレキシブルデバイス、センサーなどの微小電気機械システム(MEMS)用途を想定する。今後社内利用に加えて共同研究先なども探索し、早期の実用化を目指す。

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