山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター(INOEL)や帝人などの研究グループは、新規フレキシブル有機EL(エレクトロルミネッセンス)デバイス用バリアフィルムの開発を進める。ロール・トウ・ロール(R2R)方式で酸化ケイ素(SiO2)系の高バリア性単層膜と、酸化インジウム亜鉛(IZO)による透明電極を一括形成する。エッチングペーストによる電極加工でフォトリソグラフィーがなく、工程負荷も低い。今後、実デバイス実証などを進め、3年以内をめどに新たな有機EL用材料技術として実用化を目指す。

SiO2系の高バリア性単層膜と、IZO透明電極を一括形成する

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