東北大発ＶＢのボールウェーブ、ｐｐｂレベルのボールＳＡＷセンサーを微量水分計測半導体プロセスに展開

　東北大発ベンチャーのボールウェーブは、ボールＳＡＷ（球状弾性表面波）センサーによる微量水分計で半導体分野に参入する。このほど採択されたＮＥＤＯ（新エネルギー・産業技術総合開発機構）事業も活用し、先端半導体プロセスでの超高純度特殊ガスのインライン評価などに展開する。センサー生産体制の拡充や、アライアンス連携によるカスタム化などを進める。今年度中に現場検証も予定し、早期量産提供を目指す。コロナ禍後を見据え順次営業体制も構築し、センサーシステムの普及に拍車をかける。続きは本紙で

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