先端半導体プロセスを実現するEUV(極紫外線)業界が一段と活気づいている。唯一のEUV露光機メーカーである蘭ASMLは、加工に必要な情報をより多く取り込める新型機を数年後に出荷予定だが、これに最適化したレジストやマスクなどの開発が着々と進んでいる。部材大手は先端半導体の量産拠点である韓国・台湾への投資を拡大しており、ADEKAも台湾での新工場建設を発表した。半導体材料市場は高成長が続くが、日系サプライヤーは価格競争が厳しい汎用品を避け、次世代品へと舵を切っている。

続きは本紙で

記事・取材テーマに対するご意見はこちら

PDF版のご案内

セミナーイベント情報はこちら

先端材料・部材の最新記事もっと見る