花王は、半導体シリコンウエハーの製造工程で“プレ洗浄”を提案していく。研磨工程後にプレ洗浄剤「クリンスルー」をシリコンウエハーにすすぐだけで、シリカなどの付着物を大幅に落とし親水性も付与。洗浄工程で超純水や各種薬剤の使用量を減らし、CO2排出量の削減が期待できる。続きは本紙で 記事・取材テーマに対するご意見はこちら PDF版のご案内