花王、ウエハーのプレ洗浄提案、工程短縮・水使用減

　花王は、半導体シリコンウエハーの製造工程で“プレ洗浄”を提案していく。研磨工程後にプレ洗浄剤「クリンスルー」をシリコンウエハーにすすぐだけで、シリカなどの付着物を大幅に落とし親水性も付与。洗浄工程で超純水や各種薬剤の使用量を減らし、ＣＯ２排出量の削減が期待できる。続きは本紙で

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