カーリットＨＤ、小口径ウエハー高平坦度品、ＭＥＭＳ向け生産強化、子会社に高精度研削装置

　カーリットホールディングス（ＨＤ）は、ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）をターゲットに小口径シリコンウエハーの高平坦度グレードを供給する。今年５月にシリコンウエハーを扱う１００％子会社のシリコンテクノロジー（長野県佐久市）の工場に高精度研削装置を導入する。１マイクロメートル以下など多様な高平坦度要求に応える少量多品種生産モデルを想定しており、夏以降の供給開始を予定する。大手競合が手薄な小口径ウエハーに特化し、ＭＥＭＳの市場成長に合わせて事業の柱に育成する。続きは本紙で

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