クラボウは、枚葉式の半導体洗浄装置向けの次世代技術を開発する「セミコンソリューションプロジェクト」を前進させる。ウエハー上の薬液温度をリアルタイムで計測する「Ｉｎ－Ｓｉｔｕ小型サーモカメラ」は３月にプロトタイプが完成、２０２１年度の実用化を想定する。微細化が進む半導体は温度管理が重要で、連動して自動で温度補正する制御ユニットも開発中。薬液の置換を判断する「Ｉｎ－Ｓｉｔｕ液体成分モニタ」は２２年度の実用化を目指す。廃液の削減や歩留まり向上が期待でき、８月にも貸出デモ機による評価を開始する。両者の一体化にも取り組むほか、計測・制御で得た知見を生かした洗浄液製造装置の上市も視野に入れる。続きは本紙で
Ｉｎ－Ｓｉｔｕ小型サーモカメラ（プロトタイプ機、上）と同液体成分モニタ（社内評価機）
