パンソリューション、ＰＶ用ウエハー評価技術をパワー半導体に展開、短時間で内部まで

　東北大学発ベンチャーのパンソリューションテクノロジーズ（松島悟社長）は、太陽電池（ＰＶ）用シリコンウエハー向けに開発した品質評価技術をパワー半導体に展開する。短時間でウエハー内部まで測定できるＨＳ－ＣＭＲ法を応用するもので、今年にもシリコン系パワー半導体用ウエハーの検査装置の製品化を目指す。東北大学・金属材料研究所、名古屋大学工学部と協力し開発を推進する。並行して炭化ケイ素（ＳｉＣ）など化合物半導体用ウエハーの検査装置の開発にも取り組む。続きは本紙で

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