日本カーバイド工業は、半導体材料を脱金属処理する受託事業を加速する。レジスト材料を製造する同社は精製や分析に関するハードと、ppb(10億分の1)1ケタ台の残留分を分析するソフトパワーを兼ね備えている。受け身で事業を開始した昨年の売り上げ目標は、すでに突破。提案を本格化したこの3カ月間では、レジスト材料をはじめ洗浄剤や実装用封止材など、依頼される素材には広がりが生まれている。稼働率が高まっている受託拠点では、専用工場を建設する構想も浮上している。続きは本紙で

ICP-MSによるppb単位の品質保証が可能

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