日本真空光学、半導体装置向け光学薄膜製品を拡充

　ＡＧＣグループの日本真空光学は、半導体製造装置向け光学薄膜製品の拡充を進める。ＡｒＦ（フッ化アルゴン）・液浸ＡｒＦ向け高反射ミラーでは、ステッパー部品として顧客評価を推進。ＥＵＶ（極紫外線）露光装置用ミラーも試作し、現行の１社独占体制から将来的な他メーカー参入時に向けた実用化を推進する。半導体産業の活況で装置が急伸するなか、検査装置に用いる波長フィルターなど多製品で光学薄膜の専門メーカーとして市場開拓を進めていく。続きは本紙で

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