日本電子は産業機器事業でフォトマスク製造用電子ビーム装置（マスクライター）を強化する。マルチビーム機によるＥＵＶ（極紫外線）フォトマスク需要に対応。現行の昭島工場（東京都昭島市）での年産１０台体制から、２０２１年度下期に新工場（同武蔵村山市）での生産体制を構築し、早期に同２０台体制まで拡張する。台湾・韓国を中心とした旺盛な投資で２５年には年間２０数台の需要も見込めることから、リードサプライヤーとして供給力を高めていく。
バイオワークス、持続可能な次世代合繊「Ｐｌ...
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日本電子は産業機器事業でフォトマスク製造用電子ビーム装置（マスクライター）を強化する。マルチビーム機によるＥＵＶ（極紫外線）フォトマスク需要に対応。現行の昭島工場（東京都昭島市）での年産１０台体制から、２０２１年度下期に新工場（同武蔵村山市）での生産体制を構築し、早期に同２０台体制まで拡張する。台湾・韓国を中心とした旺盛な投資で２５年には年間２０数台の需要も見込めることから、リードサプライヤーとして供給力を高めていく。
