関東電化、水島に半導体用ガスＣ４Ｆ６設備　渋川と計４００トン体制

　関東電化工業は、半導体製造工程のエッチングガスに用いられるヘキサフルオロ１，３ブタジエン（Ｃ４Ｆ６）の製造設備を水島工場（岡山県倉敷市）に新設する。製造能力は年１４０トンで、来年８月の完工予定。既存の渋川工場（群馬県渋川市）と合わせて同４００トン体制に拡充する。急激に高まる需要に対し、国内２拠点体制とすることで、安定供給を万全にする狙い。さらに一大市場である韓国や中国での現地生産も検討し、世界シェア約３割の地位を強固なものとする。続きは本紙で

年１４０トン能力の製造設備を新設する（水島工場）

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