AGCはセリア系CMP(化学的機械研磨)スラリーでトップシェアを目指す。拡大が見込まれる最先端ロジック向けでトップシェアを握っており、さらにメモリー向けの最先端領域も開拓することで市場全体でもトップを狙う。微細化の進展でEUV(極紫外線)プロセスなどの最先端領域が市場成長をけん引しており、最先端に特化する同社に追い風が吹く。次世代プロセスではトランジスタ構造、金属配線などの変化が見込まれており、AGCへの引き合いがますます強まりそうだ。続きは本紙で
トリケミカル研、新エッチング材を次の柱に ...
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