ＥＶＧジャパンが装置提案、マスクレス露光で量産を、半導体やＭＥＭＳ

　オーストリアＥＶグループの日本法人、ＥＶＧジャパンは、量産対応のマスクレス露光装置で新領域を開拓する。マスクアライナーなどで確固たる実績を持つ半導体、ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）分野の多品種少量生産向けに加え、ＩＣ用などの微細プリント配線板（ＰＣＢ）や先端パッケージ、バイオメディカル用領域にも展開する。今後５年間で２５％程度、マスクアライナーの代替を目指すとともに、微細化が進む非半導体領域でも存在感を高める。続きは本紙で

記事・取材テーマに対するご意見はこちら

PDF版のご案内