SCREENホールディングスのグループ会社、SCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区)は、半導体洗浄装置の新製品2機種をラインアップに追加した。業界最高レベルという生産性を実現したスクラバー方式の枚葉式洗浄装置「SS-3300S」と、薬液によるエッチング・洗浄機能とブラシを使用した物理洗浄機能を併せ持つウエハー裏面洗浄装置「SB-3300」で、今月から販売を開始する。続きは本紙で

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