『プラズマ技術の基礎と産業応用』

〔主催〕化学工業日報社

    プラズマは、物質の第4の状態といわれています(固体→液体→気体→プラズマ)。「反応性が高い」「光を放出する」といったプラズマの性質は、各種産業で幅広く利用されており、身近なところでは、蛍光灯やネオンサイン、プラズマテレビなどがよく知られています。プラズマ技術は、電子部品や液晶、半導体の製造において、表面処理を行う際に利用されており、化学産業とも深く関わっています。
    本セミナーでは、プラズマ技術の基礎から、産業応用まで、専門家が、わかりやすく解説します。

講演要旨

[講師]坪井 秀夫 氏
合同会社 坪井技術コンサルタント事務所


●講義 13:00~16:40(1時間に1回[10分程度]の休憩を挟みます)
1.プラズマを利用している産業分野
2.プラズマの基礎的性質
3.プラズマの生成過程:電離と解離
4.プラズマ中の粒子:電子、イオン、ラジカル
5.プラズマの利用、物理プロセスと化学プロセス
6.無磁場のプラズマと磁化プラズマ
7.容量結合プラズマ(CCP)
8.誘導結合プラズマ(ICP)
9.磁気中性線放電(NLD)プラズマ
10.マイクロ波プラズマ
11.電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ
12.プロセシングで重要なシース
13.プラズマ計測診断技術
14.プラズマの応用例:ドライエッチング
15.大気圧プラズマの特長と応用例
質疑応答16:40~17:00

1.プラズマを利用している産業分野
 (1)プラズマを用いてできること
 (2)プラズマプロセシングについて
2.プラズマの基礎的性質
(1)プラズマとは、電子密度(プラズマ密度)、電子温度
(2)放電について、放電の起こり易さ
(3)プラズマ技術の用語と単位
3.プラズマの生成過程:電離と解離
(1)電離度と解離度について
(2)電離、解離と電子エネルギー分布、化学反応性の強いラジカルは解離で生成される
(3)電離度と高密度プラズマ
4.プラズマ中の粒子:電子、イオン、ラジカル
(1)プラズマ生成における電子の役割
(2)プラズマ中の中性ラジカル、化学反応性が強い
(3)プラズマ中のイオンの役割、表面反応をアシストする
5.プラズマの利用、物理プロセスと化学プロセス
(1)プラズマ生成は物理、プラズマの利用は物理と化学
(2)プラズマ化学の有益性
(3)物理プロセスを利用する例、スパッタリング、イオンプレーティング、イオン注入
(4)化学プロセスを利用する例、PECVD、ドライエッチング、反応性スパッタリング
6.無磁場のプラズマと磁化プラズマ
(1)プラズマは反磁性:磁場を印加するとプラズマの性質が変わる
(2)プラズマ振動数(周波数)、衝突周波数、サイクロトロン(ラーモア)周波数について
(3)ドリフトについて
(4)プラズマ装置の種類と用途
7.容量結合プラズマ(CCP)
(1)CCP装置:歴史のあるプラズマ
(2)CCP装置の等価回路
8.誘導結合プラズマ(ICP)
(1)ICP装置:高密度プラズマの例 その1
(2)ICP装置の等価回路
9.磁気中性線放電(NLD)プラズマ
(1)NLDプラズマ装置:高密度プラズマの例 その2
(2)NLDプラズマ装置の等価回路
10.マイクロ波プラズマ
(1)マイクロ波プラズマ装置:高密度プラズマの例 その3
(2)マイクロ波を用いた表面波プラズマ
(3)マイクロ波ラインプラズマ:2 mの長尺プラズマ
11.電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ
(1)ECRプラズマ生成の条件
(2)ECRプラズマ装置:高密度プラズマの例 その4
(3)プラズマ中の波動、CMA図(プラズマ中の波動の図)
12.プロセシングで重要なシース
(1)プラズマと固体表面の間にできるシースの性質
(2)シースの役割、イオン照射は表面反応を促進する
(3)RFバイアス印加とイオンエネルギーの制御:イオンエネルギーの決め方
13.プラズマ計測診断技術
(1). ラングミュアプローブ、静電プローブ:プラズマ密度の計測
(2). プラズマ装置に発生する高電圧の計測: a. RFアンテナに発生する高電圧の計測/ b.ウエハ表面における Vpp、Vdc の計測
14.プラズマの応用例:ドライエッチング
(1)反応性イオンエッチング(RIE):微細加工のために
(2)エッチング速度、イオンフラックス、イオンエネルギーの関係
(3)固体表面に存在する原子の数(面密度)
(4)スパッタエッチング(物理的エッチング)の場合のエッチング速度の計算例
15.大気圧プラズマの特長と応用例
(1)真空のプラズマと大気圧プラズマの違いについて
(2)大気圧プラズマの応用例: a. 材料表面プロセス/ b. プラズマ滅菌
質疑応答

開催要項

【受講料】1名につき27,500円(税込み)
【開催日時】2022年2月1日(火)13:00~17:00 【開場12:45~】
 本セミナーはライブ配信によるオンラインセミナーになります
【申込締切】2022年1月27日(木)17:00
【受講要件】 既存の「インターネットブラウザ」(インターネットエクスプローラー(IE)を除く)の利用が可能であること、もしくはビデオ会議ツール「Zoom」アプリ(無料)のインストールが可能な方

受付を終了しました。

≪オンラインセミナー開催にあたり主催者からのお知らせ≫
・弊社のオンラインセミナーは、既存の「インターネットブラウザ」(インターネットエクスプローラー(IE)を除く)ならびにビデオ会議ツール「Zoom」を利用したライブ配信です。パソコン、タブレット、スマートフォンでご視聴いただけます。
・開催日の前日までに、視聴するために必要なURLとパスワード、講演資料(PDFファイル)をメールにてお送りいたします。
【留意点】
・オンラインセミナーはインターネット経由のライブ配信であり、受講側の回線状態や使用機器の状態などにより画像や音声が乱れる場合があります。あらかじめ、受講する前に下記ホームページにて、ご使用されるデバイス(パソコン、タブレット、スマートフォン)の仕様やネットワーク回線について必ずご確認をお願いします。なお、視聴に用いるデバイスならびに、その設定は受講者側でご調整ください。主催者側では、それらのサービス利用に関するサポートはできかねます。

~PC、Mac、Linuxのシステム要件~
(視聴する時のデバイスやネットワーク回線の要件が確認できます)
https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023-PC-Mac-Linux

~既存のブラウザから参加する方法~
https://support.zoom.us/hc/ja/articles/214629443

・受講者側のシステムトラブル等により画像・音声に問題が生じ、受講できなかった場合、受講料の返金はいたしませんので、あらかじめご了承ください。
・主催者側で異常等が認められると判断した場合は、該当者に対するオンラインセミナー配信を予告なく切断する場合がございます。
・お申込みをしていない方が、視聴用URLを取得し、オンラインセミナーに参加しようとしても、受講許可されません。視聴用URLの転送は無効となりますのでご注意ください。
・複数のデバイスを同時に使って受講することはできません。
・万が一、主催者側のシステムの不具合等により開催を中止した場合には、対応方法を含め主催者より後日ご連絡させていただきます。
・内容と講演者は予告なく変更される場合があります。
【禁止事項】
・受講時における録画・録音・キャプチャー取得などによるデータ保管を禁止します。SNSや他ウェブサイトへの掲載も禁止します。違反行為を発見した場合、主催者は削除を要求します。
・オンラインセミナーの視聴用URLを第三者へ転送し受講させることは禁止します。
・オンラインセミナー受講時に知りえた個人情報などは、当該オンラインセミナー内のみに限り、他への口外を禁止します。
・講演資料は参加者のみのご利用に限定させていただきます。他への転送、ウェブサイト等への掲載は禁止します。

以上の違反行為を発見した場合、今後の弊社セミナー、オンラインセミナーの受講をお断りさせていただきます。
お申し込み後のキャンセル につきましては、開催日3日前までにご連絡をお願いいたします(受講料をご返金いたします)。以後のキャンセルは受け付けません(受講料は返金いたしません)。

オンラインセミナーの最新記事もっと見る