『産業界のプラズマ技術、基礎から応用まで』

〔主催〕化学工業日報社

 物質の第4の状態といわれるプラズマ(固体→液体→気体→プラズマ)は、「反応性が高い」「光を放出する」といった性質が、各種産業で幅広く利用されています。身近なところでは、蛍光灯やネオンサイン、プラズマテレビなどがよく知られています。プラズマ技術は、電子部品や液晶、半導体の製造において、表面処理を行う際に利用されており、化学産業とも深く関わっています。
 本セミナーでは、プラズマ技術の基礎から産業応用まで、実践面での対策を交えながら、専門家が分かりやすく解説します。

 *本セミナーは、1週間の「見逃し配信」をご利用いただけます。

講演要旨

[講師]坪井 秀夫 氏
合同会社 坪井技術コンサルタント事務所


●講義 13:30~16:30(1時間に1回[10分程度]の休憩を挟みます)
1.プラズマとは
2.産業界のプラズマ
3.プラズマ中の粒子:電子、イオン、ラジカル
4.プラズマの応用:物理プロセスと化学プロセス
5.無磁場のプラズマと磁化プラズマ
6.容量結合プラズマ(CCP)
7.誘導結合プラズマ(ICP)
8.磁気中性線放電(NLD)プラズマ
9.マイクロ波プラズマ
10.電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ
11.プロセシングで重要なシース
12.プラズマの応用例:ドライエッチング
13.大気圧プラズマの特長と応用例
質疑応答16:30~16:50

開催要項

【受講料】1名につき27,500円(税込み)
【開催日時】2022年8月2日(火)13:30~16:50 【開場13:15~】
 本セミナーはライブ配信によるオンラインセミナーになります
【見逃し配信期間】2022年8月4日(木)10時~10日(水)17時
 ライブ配信の模様を録画し、受講者様に録画したセミナーの視聴用のURLをお送りいたします。期間中であれば自由な時間にご視聴いただけます。復習用としてご活用ください。
 なお、質疑応答には対応しておりません。予めご了承願います。
【申込締切】2022年7月28日(木)17:00
【受講要件】 既存の「インターネットブラウザ」(インターネットエクスプローラー(IE)を除く)の利用が可能であること、もしくはビデオ会議ツール「Zoom」アプリ(無料)のインストールが可能な方

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