デジタル化社会の根底を支える半導体。その製造で重要な役割を担うのがパターン作成に用いられるフォトリソグラフィーだ。２０２０年には５ナノメートルノードが実用化され、最先端のＥＵＶ（極紫外線）プロセスの量産適用が始まった。日系化学企業の存在感が強いフォトレジストを軸に、リソグラフィーの現況と展望を追った。続きは本紙で
三菱エンプラ、透明・高剛性ＰＣ樹脂の量産安...
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デジタル化社会の根底を支える半導体。その製造で重要な役割を担うのがパターン作成に用いられるフォトリソグラフィーだ。２０２０年には５ナノメートルノードが実用化され、最先端のＥＵＶ（極紫外線）プロセスの量産適用が始まった。日系化学企業の存在感が強いフォトレジストを軸に、リソグラフィーの現況と展望を追った。続きは本紙で
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