半導体の基幹製造装置である露光機大手の明暗が一段と鮮明になってきた。次世代の微細回路に対応できるEUV(極紫外線)露光機を唯一量産できる蘭ASMLの業績は2020年に続き今年も続伸。EUVレジスト市場を寡占する日系電材各社とは共存共栄の関係にある。一方、キヤノンは昨年に続き今年もメモリー製造向け主体にKrF(フッ化クリプトン)とi線(波長365ナノメートル)対応機の大幅な販売増を見込む。対して「苦戦している」のがニコンで、21年3月期の販売台数は前年同期比半減となる見通し。ただ、ニコンが唯一供給する超大型の第10・5世代基板対応液晶パネル露光機は、新型コロナ禍による巣ごもり需要を受け予想以上の売れ行きだ。キヤノンがダントツの有機ELパネル用蒸着装置も旺盛な需要があり、大型パネル向け装置の開発を進めている。続きは本紙で

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