＜金属レジスト 事業化へ前進／下＞
ＪＳＲが推進するウェット系のＥＵＶ金属レジストに対して、半導体製造装置大手の米ラムリサーチが展開するのは現像液などを使わないドライプロセスのＥＵＶ金属ドライレジスト。同社はＪＳＲと同じくベルギーのマイクロエレクトロニクス研究開発機関（ＩＭＥＣ）との関係が深く、２０２０年に蘭ＡＳＭＬ、ＩＭＥＣとともにドライレジストを共同開発した。今年７月には三菱ケミカルグループの米Ｇｅｌｅｓｔおよび米インテグリスの材料２社と協業体制を構築し、ドライ金属レジスト材料を世界の半導体メーカーに供給すると発表。新規参入ながら次世代レジスト市場で存在感を高めていく。続きは本紙で
