＜金属レジスト 事業化へ前進／上＞
次々世代の超微細半導体プロセスを実現するため、ＥＵＶ（極紫外線）金属レジストの開発が活発化している。ＪＳＲと半導体製造装置大手の米ラムリサーチが具体的な事業戦略を打ち出した。両社に共通するのはベルギーのマイクロエレクトロニクス研究開発機関（ＩＭＥＣ）と深い協業関係にあることと、安定供給を図るために材料パートナーと一体で事業を推進すること。金属レジストは生産性とコストで改善の余地は大きいものの、既存の化学増幅型の限界を超えるポテンシャルをもつ。次世代レジストの先駆けとなるのか、動向が注目される。
