ワッティーは、直径200ミリメートルウエハー対応の原子層堆積(ALD)成膜装置の市場開拓を進める。酸化膜や窒化膜に対応し、独自のロードロック機構や配管を含む細やかな温度管理対応、カスタム化が強み。直径50ミリメートルウエハー向けが研究開発向けに採用が拡大しており、大口径機で分布評価やデバイス生産への利用につなげる。導入前の受託成膜サービスなども提案し、半導体や2次電池などのデバイス高度化需要に応えていく。続きは本紙で

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