三井化学は多湿環境下で多成分検知可能なMEMSガスセンサーを開発した。MEMSセンサー上にポリマー膜を塗布し、そこに吸着した成分の応力を電気信号として検知することで、ガスの種類と定量を同時に検出する。ポリマー膜と解析アルゴリズムの組み合わせにより、エタノールやアセトンなどの有機系から無機系まで幅広いガスに適応することができる。匠ソリューションズ(仙台市)と共同で評価システムのプロトタイプを開発しており現在、複数顧客で検証が進む。2023年度には用途適用に向けた実証機の開発へと進める計画だ。続きは本紙で
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