三菱ガス化学、半導体向け超純過水さらに高度化、海外拠点に技術移転

　三菱ガス化学は、超純過酸化水素水の高度化を推進する。現在、半導体需要の成長に対応してグローバルで製造能力の拡大を推し進めているのに並行し、さらなる高純度化追求も続けている。日本の四日市工場をマザープラントとして技術を磨いており、すでに不純物の濃度はｐｐｔ（１兆分の１）オーダーにまで達している。日本で培った技術を海外拠点にも展開することで、顧客からの要求に応え、半導体産業の発展への貢献を果たす。半導体需要は今後も爆発的な拡大が期待されるため、現在計画中の過酸化水素および超純過水の新増設計画に続く増産プロジェクトについても検討していく。続きは本紙で

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