住友化学は、最先端半導体プロセス向けのEUV(極紫外線)フォトレジストを強化する。試作や評価向けでの実績をもとに、大手ファウンダリーから量産向け受注を獲得。大阪工場(大阪市此花区)から月内に供給を開始する。2~3年後に100億円を超えるとも言われるEUV市場を捉える。2022年度上期をめどに建設を進める大阪工場の新棟でフォトレジストの品質管理体制の拡充も行う。世界トップシェアを持つArF(フッ化アルゴン)液浸用レジストなどとともに、EUVでも存在感を出していく。続きは本紙で
供給する大阪工場。2022年度上期の完成を目指し新棟建設も進める