半導体材料、「ＥＵＶ銘柄」に注目　日系各社が積極投資

　最先端の半導体製造プロセスで「ＥＵＶ（極紫外線）」と呼ぶ新技術の導入が進み、日本の半導体材料メーカーが手がけるＥＵＶ製品の収益押し上げ効果が拡大しそうだ。すでにＥＵＶで先端半導体を量産する台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）や韓国サムスン電子に加え、米インテルやマイクロン・テクノロジー、韓国ＳＫハイニックスなども導入する計画だ。将来は先端半導体のリソグラフィー工程の半分以上がＥＵＶになるとの観測もあり、半導体材料の「ＥＵＶ銘柄」への注目度が高まる。続きは本紙で

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