化学工業日報 2024年04月29日
  1. ホーム
  2. 先端材料・部材
  3. 半導体活況に沸くレジスト（１）最先端から汎用まで フロンティアはシングルナノ領域 - 化学工業日報

半導体活況に沸くレジスト（１）最先端から汎用まで　フロンティアはシングルナノ領域

  • 2021年2月3日
  • このエントリーをはてなブックマークに追加

　デジタル化社会の根底を支える半導体。その製造で重要な役割を担うのがパターン作成に用いられるフォトリソグラフィーだ。２０２０年には５ナノメートルノードが実用化され、最先端のＥＵＶ（極紫外線）プロセスの量産適用が始まった。日系化学企業の存在感が強いフォトレジストを軸に、リソグラフィーの現況と展望を追った。続きは本紙で

記事・取材テーマに対するご意見はこちら

PDF版のご案内

先端材料・部材の最新記事もっと見る

新聞購読お申込み

化学工業日報PDF版

化学工業日報社 公式Twitter

化学製品検索

新着セミナー