富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ、先端半導体材料の地産地消さらに

　富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（ＦＦＥＭ）は、先端半導体プロセス材料の地産地消体制を強化する。ＣＭＰスラリー（化学機械研磨）などに続きポストＣＭＰクリーナーの現地生産を見据える。策定中の次期中期計画期間内に詳細を詰める。世界トップシェアで、米国・台湾で製造するコバルト配線用クリーナーエッチャントもシングルナノメートルノードでの適用拡大に向け増産検討を進める。米国で新設が予定される最先端半導体工場向け供給体制の検討も進め、先端分野での存在感を高める。続きは本紙で

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