東京応化、韓国でレジスト生産倍増、年内めど、ＥＵＶ用など対象

　東京応化工業は、年内をめどに韓国でフォトレジストの生産能力を倍増する。仁川工場内で設備拡充を進めており、順次稼働を開始する。対象はＥＵＶ（極紫外線）、ＡｒＦ（フッ化アルゴン）、ＫｒＦ（フッ化クリプトン）などの最先端品。とくにＥＵＶは現行品で高いシェアを確保しており、次世代以降のシェア確保も狙う。現地の開発機能も生かし、拡大するフォトレジスト市場を捉える。続きは本紙で

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