セーレンの子会社でシリコンウエハーの成膜加工を手がけるケイエスティワールド（ＫＳＴワールド）は、熱酸化膜シリコンウエハーを強化する。世界トップシェアの厚膜品は、光導派路用途で通信用に加えスマートグラスなどの市場開拓を進める。熱酸化膜上にシリコン単結晶膜を形成したＳＯＩウエハーは、ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）用途とともに、高耐圧・低消費電力化が進むパワーデバイス市場を捉える。パターン加工品など特殊品も訴求し、５Ｇ（第５世代通信）・ＩｏＴ（モノのインターネット）によるデバイスの高度化に応える。続きは本紙で
独自の厚膜熱酸化膜技術などを生かす
