TOTOは、セラミック部材による半導体市場の開拓を強化する。半導体市況の好調に連動して製造装置向け部材の需要が増加しており、同社の静電チャックやエアロゾルデポジション(AD)膜の売上高は2ケタ成長となっている。セラミック事業への投資額は当初2021~23年度に20億円を計画していたが、想定以上の伸びから21年度単年で30億円に達する見通し。21年度売上高は前年度比46%増の293億円を見込んでおり、達成できるもよう。微細化や積層化といった半導体のトレンドを織り込んだ新製品をタイムリーに供給することで、中期的な事業拡大につなげる。

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