東京応化　レジスト製品を強化　ＳＣＲ立ち上げへ

　東京応化工業は、レジスト製品で最先端領域に向けた取り組みを強化する。主力拠点の相模事業所（神奈川県高座郡）で３月中にもスーパークリーンルーム（ＳＣＲ）の設置を完了。本格稼動に向けたプロセス評価に着手する。ＥＵＶ（極紫外線）などを用いる５ナノメートル以下のシングルナノ製品など、先端品の強化や開発迅速化に活用する。次世代デバイスの情報収集に向け米国、台湾、韓国を対象に専門の人員を配置するとともに、戦略的提携模索する。マテリアルインフォマティクス（ＭＩ）や量子化学計算などソフトウエア技術活用も進め、ニッチトップ企業として技術・製品を極める。続きは本紙で

記事・取材テーマに対するご意見はこちら

PDF版のご案内